為了保證沿離子束(中性束)傳輸路程上的高真空條件，大部分氣量需要由真空抽氣系統(tǒng)抽走。由于氣量較大，而且要求的工作真空度較高，所以該束線的真空系統(tǒng)將需要很大的抽速。目前，在中性束注入器上使用的大抽速真空泵主要有兩種，一種是低溫泵，一種是鈦泵。與低溫泵相比，鈦泵有造價低、結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠、沒有磁場和高速轉(zhuǎn)動的機械部分、操作方便、易于維護等優(yōu)點。

基于HL-1MNBI大抽速真空系統(tǒng)中鈦泵的有效使用，以及ASDEX，束線上鈦吸附泵的成功經(jīng)驗，我們擬采用水冷的鈦泵作為快泵。鈦泵由兩組主泵和一組次泵組成，其排列位置如。 鈦吸附泵主要由鈦升華器和吸附器兩大部分組成，本文將主要從這兩方面介紹我們的設(shè)計和計算過程。根據(jù)實驗要求，兩個真空室的兩組鈦泵的抽速要求分別為8.0×105L/s和1.5×105L/s。如果氣體壓強很低(氣體分子數(shù)遠小于蒸著的鈦分子數(shù))，鈦蒸著率足夠高，即使再增大比蒸著率，所捕獲的分子數(shù)也不再增加，此時的粘著系數(shù)達到最大值并稱為“本征粘著系數(shù)”。

它在一定范圍內(nèi)與比蒸著率無關(guān)，是表征新鮮鈦膜吸氣特征的一個重要物理量。對于H2，液氮冷卻下的e比水冷的室溫下的要大幾倍，但從造價低和操作方便考慮，選用水冷。根據(jù)以往相關(guān)實驗數(shù)據(jù)顯示，室溫下鈦表面對氫的抽速為1～1.5L/scm2，我們按1.1L/scm2設(shè)計。