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真空泵分類,真空泵各自原理,真空泵結(jié)構(gòu),真空泵的應(yīng)用??

真空泵分類,真空泵各自原理,真空泵結(jié)構(gòu),真空泵的應(yīng)用??
時(shí)間:2014-09-08
1、分類a類,機(jī)械泵:油封機(jī)械泵(單級(jí)),油封機(jī)械泵(雙級(jí)),分子泵,羅茨泵;b類,蒸汽噴射泵:水銀擴(kuò)散泵,油擴(kuò)散泵,油噴射泵;c類,干式泵:濺射離子泵,鈦升華泵,吸附泵,冷凝泵,冷凝吸附泵。

1、分類a類,機(jī)械泵:油封機(jī)械泵(單級(jí)),油封機(jī)械泵(雙級(jí)),分子泵,羅茨泵;b類,蒸汽噴射泵:水銀擴(kuò)散泵,油擴(kuò)散泵,油噴射泵;c類,干式泵:濺射離子泵,鈦升華泵,吸附泵,冷凝泵,冷凝吸附泵。

2、各自結(jié)構(gòu),a機(jī)械泵就是通過機(jī)械原理抽氣而抽真空的,一般都有定子,轉(zhuǎn)子,和旋片,閥門等組成。機(jī)械泵一般抽真空度較低,油封機(jī)械泵抽到10(-2)次方就不能往下抽了,但羅茨泵和分子泵由于其巧妙的設(shè)計(jì),可以抽到10(-4)甚至更高。b蒸汽噴射泵就是利用加熱氣化使高速噴出的蒸汽的動(dòng)量攜帶氣體分子出來,從而抽真空的,蒸汽噴射泵因?yàn)槭怯烧羝麛y帶氣體出來的,一般都會(huì)有蒸汽污染。注:蒸汽攜帶氣體出來之后蒸汽會(huì)冷凝回流,再蒸發(fā),再攜帶,依次循環(huán)。蒸汽噴射泵抽的真空度比一般機(jī)械泵高,但是也高不了多少,主要是會(huì)有污染。c干式泵,每種的原理結(jié)構(gòu)都大不同,優(yōu)點(diǎn)就是無污染,抽的真空度高,能抽高真空,最高可以達(dá)到10(-12)的極限真空,缺點(diǎn)是技術(shù)要求太高了,而且抽到10(-12)一般來說連續(xù)抽個(gè)幾個(gè)月才能達(dá)到,時(shí)間好長(zhǎng)哦。我用冷凝泵抽到10(-4)都得四五個(gè)小時(shí)哦,而且干式泵無法從大氣壓直接抽到高真空,得用前兩種泵抽到一定真空度后,干式泵才能開始工作,繼續(xù)抽到更高真空。

3、應(yīng)用領(lǐng)域,太多了,半導(dǎo)體,化工,鍍膜,最簡(jiǎn)單的做個(gè)燈泡也要用真空泵啊,抽光了空氣才能灌氮?dú)夂推渌麣怏w啊,總之要用到高純和低壓的地方大都要用到真空泵。

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