裝有滑片的偏置轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作回轉(zhuǎn)運動?使由滑片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵?又稱滑片真空泵。圖旋片真空泵的工作原理為旋片真空泵的工作原理。

它主要由泵體(靜子)和轉(zhuǎn)子組成。在轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊以上的滑片?有些泵滑片間還裝有彈簧。轉(zhuǎn)子偏心地裝在泵腔內(nèi)?其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時?在離心力等作用下?滑片沿槽作往復(fù)滑動并與泵腔內(nèi)壁始終保持接觸?將泵腔分成兩個或幾個可變?nèi)莘e的工作室。轉(zhuǎn)子順時針方向旋轉(zhuǎn)時?與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大?腔內(nèi)氣體壓力降低?被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入(圖中a旋片真空泵的工作原理)。

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同時?與排氣口相通的排氣腔容積由大變小?吸入腔內(nèi)的氣體被壓縮?待氣體壓力高于大氣壓力時?推開排氣閥排出大氣(圖中b旋片真空泵的工作原理)。轉(zhuǎn)子連續(xù)轉(zhuǎn)動?泵便不斷抽氣。

排氣閥浸在油里?油通過排氣閥和油孔進(jìn)入泵腔?使泵腔內(nèi)所有運動件的表面覆蓋一層油膜?密封住吸氣腔與排氣腔間的間隙?防止氣體返流。這些油還能減少排氣腔內(nèi)的有害空間?以消除它們對極限壓力的影響。

因此這種真空泵是一種油封式機械真空泵。隨著技術(shù)的發(fā)展?制造工藝的完善和優(yōu)質(zhì)材料的選用?小型滑片真空泵的轉(zhuǎn)軸可與電動機軸直聯(lián)?轉(zhuǎn)速可高達(dá)1450轉(zhuǎn)/分?大大提高了泵的抽氣速率和減輕了泵的重量。