微型真空泵屬于薄膜泵，它的原理是電機(jī)帶動薄膜往復(fù)運動，使泵腔容積周期性變化從而吸入、排出流體。微型真空泵避免了活塞式真空泵活塞磨損、污染輸送介質(zhì)的缺點，運動機(jī)構(gòu)與輸送介質(zhì)完全隔離、對介質(zhì)無污染;非動密封，無泄漏;可靠性好;效率高;體積小、重量輕;具有自吸能力;不怕空轉(zhuǎn);無需潤滑保養(yǎng);自身噪音低。作為微型真空水泵使用時，無需灌泵，既能抽氣又能抽水，無水時不怕干轉(zhuǎn)。微型真空泵的優(yōu)點尤其是無污染性、自吸性使它在儀器儀表行業(yè)得到了廣泛運用。以“氣?！北脼榇淼奈覈叨宋⑿驼婵毡觅|(zhì)量已經(jīng)可以與國際名牌產(chǎn)品媲美。最新的使用無刷電機(jī)的“氣海”調(diào)速泵可利用PWM(脈寬調(diào)制)線靈活地調(diào)節(jié)流量，能輸出轉(zhuǎn)速反饋信號，更是微型泵自動控制方式的突破。

　　我們在試驗中運用了多種狀態(tài)監(jiān)測、診斷儀器。根據(jù)所采集的各種信號，繪制出工作曲線圖，做出性能評估報告。特別是氣海的微型泵有FG反饋信號，這非常有利于我們的監(jiān)測。根據(jù)不同參數(shù)和精度的差異，選擇不同的測量方法和工具，儀器。在泵的出口安裝流量、壓力儀表，繪制出氣路系統(tǒng)的壓力-流量、效率曲線圖。氣路系統(tǒng)的效率下降到一定程度時就可以判斷為失效。效率參數(shù)經(jīng)微型計算機(jī)分析處理，可以較快的判斷氣路系統(tǒng)的工作情況。

　　除泵體本身以外，電機(jī)也是導(dǎo)致泵失效的主要因素。不同于市場上型號繁多的低端微型泵，高端的微型泵對電機(jī)的性能要求很高。試驗中需要監(jiān)測電機(jī)的轉(zhuǎn)速、電流等參數(shù)。試驗是使電機(jī)在極端工況下高速連續(xù)運轉(zhuǎn)。過去的微型泵配置有刷電機(jī)，有刷電機(jī)的電刷摩擦大、損耗大。電刷和換向器的接觸電阻大，造成電機(jī)整體電阻較大，使電機(jī)性能下降，影響泵和電機(jī)的壽命。“氣?！笨烧{(diào)速微型泵配置的無刷電機(jī)最直接的變化就是沒有了電刷產(chǎn)生的電火花，極大減少了電火花對設(shè)備的干擾，運轉(zhuǎn)時摩擦力也大大減小，運行順暢，噪音會低許多，很適合要求較高的設(shè)備。無刷電機(jī)少了電刷，磨損主要是在軸承上?？烧{(diào)速微型泵設(shè)計具有自我保護(hù)功能，在電機(jī)溫度超過限定時能自動停機(jī)，大大提升了泵和電機(jī)的安全性。用戶在同時使用多臺微型真空泵時，如果其中有一臺泵壓力、流量下降時，對整個系統(tǒng)的影響不一定能很快發(fā)現(xiàn)。使用“氣?！蓖暾嬲{(diào)速微型泵后，泵自身能輸出轉(zhuǎn)速信號，可以很方便地監(jiān)測泵的轉(zhuǎn)速，及時發(fā)現(xiàn)問題。